特許

J-GLOBAL ID：201303015042787790

ターボ分子ポンプ

発明者： 小亀 正人
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-267754
公開番号（公開出願番号）：特開2013-119798
出願日： 2011年12月07日
公開日（公表日）： 2013年06月17日
要約：

【課題】ロータ減速状態時の反応生成物の堆積を防止し、かつ、消費電力を節減する。【解決手段】ベース13の外周面側に、商用電源81の電力により発熱するポンプヒータ51と、電動モータ35の回生エネルギを電力に変換した回生電力により発熱するブレーキ抵抗52が設けられている。ロータ4の定速回転時には、温度制御回路64によりポンプヒータ51および冷却器55aのオン・オフを制御し、ポンプ本体1aの温度を目標温度Tαに維持する。ロータ4の停止指令がなされると、ポンプヒータ51および冷却器55aと共にブレーキ抵抗52のオン・オフを制御して、ポンプ本体1aを、定速回転時の目標温度Tαよりも高い温度に昇温する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

多段に配列されたロータ翼を有するロータと、 前記各段のロータ翼間に配置されたステータ翼と、 前記ロータを定速駆動する電動モータと、 前記ロータ、前記ステータ翼および前記電動モータを収容するケーシング部材と、 前記ケーシング部材の外周面側に設けられたポンプヒータと、 前記ケーシング部材に設けられ、前記ロータを冷却する冷却手段と、 前記電動モータの慣性による回転エネルギを電力として回生する回生回路と、 前記ケーシング部材の外周面側に設けられ、前記回生回路から供給される電力により発熱するブレーキヒータと、 前記ロータの温度を制御する温度制御手段と、を備えることを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04

FI (1件)：

F04D19/04 H

Fターム (4件)：

3H131AA02 ,  3H131BA03 ,  3H131CA35 ,  3H131CA41

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-091545   出願人：株式会社島津製作所