特許

J-GLOBAL ID：201303015782860858

微小試料台、微小試料台作成用基板および微小試料台を用いた分析方法

発明者： 池田 大輔
出願人/特許権者： アオイ電子株式会社
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184171
公開番号（公開出願番号）：特開2013-011610
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：

【課題】分析時におけるバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能な微小試料台を提供すること。【解決手段】微小試料台100は、半導体基板よりなる微小試料台基部10の一面に成膜により一体化された微小試料搭載用薄膜20を有する。微小試料台基部10はV字形状の溝11を有し、微小試料搭載用薄膜20は溝11の上面と溝11の最深部との間に設けられた上端面21を有する。V字形状の溝の両側面は(111)面である。微小試料台基部10の上面13と微小試料搭載用薄膜20の上端面21との間の部分が微小試料70のガード部となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

突出し状のガード部および該ガード部の上面から没入した溝部を有する半導体基板と、 前記半導体基板の一面に成膜により一体化され、前記半導体基板における前記溝部の最深部と前記ガード部の上面との中間に上端面を有する微小試料搭載用薄膜と、を具備し、 前記半導体基板の前記溝部はV字形状であり、前記V字形状の溝の両側面は(111)面であることを特徴とする微小試料台。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

G01N1/28 W ,  G01N1/28 F ,  H01J37/20 A ,  H01J37/20 G

Fターム (11件)：

2G052AA13 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC18 ,  2G052EC22 ,  2G052GA34 ,  5C001AA01 ,  5C001CC01 ,  5C001DD01