ガスセンサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：吉田正義 , 今枝弘充 , 梅村裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004964
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145137
出願日： 2012年01月13日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：

【課題】小型化を図りつつ、新規な構成によりガスの検出を行え得るガスセンサを提案する。【解決手段】このガスセンサ1では、従来技術のような光吸収経路を必要としないので、その分、小型化を図ることができ、また、イオン液体ILにてガスを吸収し、かつガスを吸収することにより変化するイオン液体ILの誘電率を、金属層7での表面プラズモン共鳴現象により生じる光強度変化によって測定することができ、かくして、光強度の変化を基にガスを検出できる新規な構成でなるガスセンサ1を実現できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検出対象となるガスを検出するガスセンサであって、光源から入射される入射光の照射範囲に金属層を有し、前記金属層にて前記入射光の経路を変えて該入射光を出射光として出射するプリズムと、前記金属層の表面に設けられ、前記ガスを吸収可能なガス吸収液体とを備え、前記ガス吸収液体が前記ガスを吸収することにより該ガス吸収液体の誘電率が変化し、前記誘電率の変化に応じて前記金属層で生じる表面プラズモン共鳴現象による前記出射光の光強度変化を基に前記ガスを検出することを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 21/27

FI (1件)：

G01N21/27 C

Fターム (10件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059HH02 , 2G059JJ12 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059MM04

引用特許：

出願人引用 (4件)

ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-041669 出願人：株式会社豊田中央研究所
光導波路型センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-047971 出願人：ソナック株式会社
液体中の溶存物質含有量測定方法及び測定装置、並びに、エッチング液再生システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-112283 出願人：倉敷紡績株式会社

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