特許

J-GLOBAL ID：201303016004909994

分光センサ

発明者： 笠原 隆 ,  柴山 勝己
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-114340
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242178
出願日： 2012年05月18日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：

【課題】 光検出基板の受光面に入射させるべき光を透過させるフィルタ領域のフィルタ特性の劣化の防止、及び当該フィルタ領域へのノイズ光の進入の抑制が可能な分光センサを提供する。【解決手段】 分光センサ1Aは、キャビティ層21並びに第1及び第2のミラー層22,23を有する干渉フィルタ部20Aと、干渉フィルタ部20Aを透過した光が入射する受光面32aを有する光検出基板30と、を備えている。干渉フィルタ部20Aは、受光面32aに対応する第1のフィルタ領域24と、第1のフィルタ領域24を包囲する環状の第2のフィルタ領域25と、を有している。第1のフィルタ領域24では、第1のミラー層22と第2のミラー層23との間の距離が変化しており、第2のフィルタ領域25では、第1のミラー層22と第2のミラー層23との間の距離が一定となっている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

キャビティ層並びに前記キャビティ層を介して対向する第1及び第2のミラー層を有し、所定の波長範囲の光を前記第1のミラー層側から前記第2のミラー層側に入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部と、 前記干渉フィルタ部を透過した光が入射する受光面を有し、前記受光面に入射した光を検出する光検出基板と、を備え、 前記干渉フィルタ部は、 前記受光面と交差する所定の方向から見た場合に、前記受光面に対応する第1のフィルタ領域と、 前記所定の方向から見た場合に、前記第1のフィルタ領域を包囲する環状の第2のフィルタ領域と、を有し、 前記第1のフィルタ領域においては、前記第1のミラー層と前記第2のミラー層との間の前記所定の方向における距離が変化しており、 前記第2のフィルタ領域においては、前記第1のミラー層と前記第2のミラー層との間の前記所定の方向における距離が一定となっている、分光センサ。

IPC (2件)：

G01J 3/26 ,  G01J 3/36

FI (2件)：

G01J3/26 ,  G01J3/36

Fターム (6件)：

2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC63 ,  2G020CD24