特許

J-GLOBAL ID：201303016937651114

中温化学蒸着処理

発明者： アンダーコッファー、 ケネス、 イー.
出願人/特許権者： ケンナメタル インコ-ポレイテツド
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-602831
特許番号：特許第4728486号
出願日： 2000年02月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 a)表面を有する少なくとも1つの基体を反応室において反応温度まで加熱するステップと、 b)1〜30%のハロゲン化水素と所定量の炭素窒素源、金属ハロゲン化合物、及びH2とを含む蒸着処理気体を前記反応室に導入して、前記少なくとも1つの基体の前記表面上に浸炭窒化物含有コーティングを蒸着するステップと、を含み、 前記ハロゲン化水素がHClであり、前記炭化窒素源がCH3CNであり、前記金属ハロゲン化合物がTiCl4であり、 前記反応温度が550〜900°Cの範囲である、 化学蒸着処理方法。

IPC (5件)：

C23C 16/36 ( 200 6.01) ,  B01J 19/00 ( 200 6.01) ,  C22C 29/08 ( 200 6.01) ,  C23C 8/30 ( 200 6.01) ,  B23B 27/14 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C23C 16/36 ,  B01J 19/00 L ,  C22C 29/08 ,  C23C 8/30 ,  B23B 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 耐欠損性および耐摩耗性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-227874   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 減圧式縦型化学蒸着装置および化学蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-124578   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 被覆された切削インサート
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-505912   出願人：サンドビックアクティエボラーグ