特許

J-GLOBAL ID：201303017013257882

塩及びレジスト組成物

発明者： 市川 幸司 ,  安立 由香子 ,  宮川 貴行
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-143833
公開番号（公開出願番号）：特開2013-032339
出願日： 2012年06月27日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：

【課題】レジストパターン製造時のフォーカスマージン(DOF)が良好なレジスト組成物に好適な塩及びレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 式(I)で表される塩。[式(I)中、 Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子等を表す。 L1は、単結合又は炭素数1〜17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。 X1は、酸素原子又は硫黄原子を表す。 R1は、ヒドロキシ基又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。lは、0〜3の整数を表す。mは、0〜3の整数を表す。nは、1〜3の整数を表す。 Z+は、有機カチオンを表す。]、及び、当該塩と、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂とを含むレジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される塩。

IPC (7件)：

C07D 309/12 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C07C 381/12 ,  C08F 20/10 ,  C07D 335/02 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

C07D309/12 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C08F20/10 ,  C07D335/02 ,  H01L21/30 502R

Fターム (55件)：

2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4C023JA02 ,  4C062AA19 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA11T ,  4J100BA15P ,  4J100BA15T ,  4J100BB18P ,  4J100BC04S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC53T ,  4J100BC84S ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100FA08 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100JA38