特許
J-GLOBAL ID：201303017108772083
露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116933
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242488
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】照明光学系をマスクに対して高速に相対移動させながらプレートを露光すること。【解決手段】パターンが形成されたマスクを支持するマスク支持機構とプレートを保持するプレート支持機構とを備え、光源から出力される照明光を用いてパターンをプレートに転写する露光装置であって、照明光をマスクに照射させる照明光学系と、照明光学系によって照明されるパターンの像をプレートに投影するレンズアレイと、照明光学系の少なくとも一部及びレンズアレイを支持する支持部を備え、支持部を光源に対して相対的にマスク及びプレートに沿った方向に移動させる移動装置と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パターンが形成されたマスクを支持するマスク支持機構とプレートを保持するプレート支持機構とを備え、光源から出力される照明光を用いて前記パターンを前記プレートに転写する露光装置であって、
前記照明光を前記マスクに照射させる照明光学系と、
前記照明光学系によって照明される前記パターンの像を前記プレートに投影するレンズアレイと、
前記照明光学系の少なくとも一部及び前記レンズアレイを支持する支持部を備え、前記支持部を前記光源に対して相対的に前記マスク及び前記プレートに沿った方向に移動させる移動装置と、
を有する露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 505
, H01L21/30 515D
2H097AA04
, 2H097CA06
, 2H097GB02
, 2H097LA11
, 2H097LA12
, 5F146BA05
, 5F146CB43
