特許
J-GLOBAL ID:201303017295141148
ガスタンク検査装置、および、ガスタンク検査方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-099452
公開番号(公開出願番号):特開2013-228020
出願日: 2012年04月25日
公開日(公表日): 2013年11月07日
要約:
【課題】本発明は、ガスタンク検査装置において、ガスタンクへの低温の不活性ガスの供給に伴う不具合の発生を抑制することを目的とする。【解決手段】ガスタンクに検知ガスと不活性ガスを供給し、ガスタンクの外部において検知ガスが検出されるか否かによって、ガスタンクがガス漏れしているか否かを検査するためのガスタンク検査装置は、不活性ガスを収容する不活性ガス収容部と、ガスタンクを収容するチャンバと、不活性ガス収容部に収容された不活性ガスをチャンバの内部に供給するための第1のガス供給ラインと、第1のガス供給ラインを経由して不活性ガスをチャンバの内部に供給しているときに、チャンバの内部からガスを排出するための排出部と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ガスタンクに検知ガスと不活性ガスを供給し、前記ガスタンクの外部において前記検知ガスが検出されるか否かによって、前記ガスタンクがガス漏れしているか否かを検査するためのガスタンク検査装置であって、
前記不活性ガスを収容する不活性ガス収容部と、
前記ガスタンクを収容するチャンバと、
前記不活性ガス収容部に収容された前記不活性ガスを前記チャンバの内部に供給するための第1のガス供給ラインと、
前記第1のガス供給ラインを経由して前記不活性ガスを前記チャンバの内部に供給しているときに、前記チャンバの内部からガスを排出するための排出部と、を備えるガスタンク検査装置。
IPC (2件):
FI (3件):
F17C13/02 301Z
, F17C13/12 301Z
, F17C13/12 302A
Fターム (20件):
3E172AA02
, 3E172AA05
, 3E172AB01
, 3E172AB11
, 3E172AB12
, 3E172AB15
, 3E172BA01
, 3E172BB03
, 3E172BB12
, 3E172BB17
, 3E172BD05
, 3E172DA47
, 3E172EA02
, 3E172EA14
, 3E172EA22
, 3E172EA23
, 3E172EA42
, 3E172KA21
, 3E172KA22
, 3E172KA23
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