特許
J-GLOBAL ID：201303017681344690
フォトスペーサ用感光性樹脂組成物およびこれを用いたフォトスペーサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-178446
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041153
出願日： 2011年08月17日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：
【課題】ハーフトーンの形状、力学特性およびポストベークマージンに優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(D)アルカリ可溶性樹脂のうち少なくとも1種が、酸価150〜400mgKOH/gであり、かつ、ガラス転移点(Tg)が50〜120°Cである、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(D)アルカリ可溶性樹脂のうち少なくとも1種が、酸価150〜400mgKOH/gであり、かつ、ガラス転移点(Tg)が50〜120°Cである、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/033
, G03F 7/031
, G03F 7/029
, G03F 7/027
, G02F 1/133
G03F7/033
, G03F7/031
, G03F7/029
, G03F7/027 502
, G02F1/1339 500
2H125AC03
, 2H125AC35
, 2H125AC36
, 2H125AC43
, 2H125AC44
, 2H125AC45
, 2H125AC46
, 2H125AC49
, 2H125AC72
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD15
, 2H125AD24
, 2H125AE13P
, 2H125AM22P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN22P
, 2H125AN33P
, 2H125AN39P
, 2H125AN58P
, 2H125BA01P
, 2H125BA05P
, 2H125BA09P
, 2H125BA22P
, 2H125BA32P
, 2H125CA22
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD06P
, 2H125CD14P
, 2H125CD34
, 2H125CD38
, 2H189DA07
, 2H189DA43
, 2H189EA04X
, 2H189EA06X
, 2H189FA16
, 2H189HA12
, 2H189HA14
