特許
J-GLOBAL ID：201303018038542804
クリーニング方法、それを用いたインプリント装置および物品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-141743
公開番号（公開出願番号）：特開2013-008911
出願日： 2011年06月27日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：
【課題】型のパターン部の周辺部に付着した付着物を除去するのに有利なクリーニング方法を提供する。【解決手段】このクリーニング方法は、凹凸パターンが形成されたパターン部7aを有する型7に付着した付着物22を除去するものである。特に、このクリーニング方法は、型7と、基板20上に塗布された光硬化性樹脂21とを押し付けるに際し、パターン部7aの形成面におけるパターン部7aの外周部7cに対応する基板20上の位置に、光硬化性樹脂21を塗布する工程と、型7と光硬化性樹脂21とを押し付ける工程と、光硬化性樹脂21を硬化させる工程と、型7と光硬化性樹脂21とを引き離す工程と、を含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
凹凸パターンが形成されたパターン部を有する型に付着した付着物を除去するクリーニング方法であって、
前記型と、基板上に塗布された光硬化性樹脂とを押し付けるに際し、前記パターン部の形成面における前記パターン部の外周部に対応する前記基板上の位置に、前記光硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記型と前記光硬化性樹脂とを押し付ける工程と、
前記光硬化性樹脂を硬化させる工程と、
前記型と前記光硬化性樹脂とを引き離す工程と、
を含むことを特徴とするクリーニング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B29C 59/02
, B29C 33/72
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
, B29C33/72
4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AM10
, 4F202CA19
, 4F202CA30
, 4F202CS02
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AM10
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN20
, 5F146AA28
, 5F146AA31
