特許

J-GLOBAL ID：201303018131711420

薄膜磁性素子

発明者： 諏訪 孝裕 ,  高橋 正人 ,  中田 勝之 ,  柿沼 裕二 ,  伊藤 邦恭 ,  佐々木 智生 ,  太田 尚城
出願人/特許権者： TDK株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-057191
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191735
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】磁気抵抗効果素子を薄膜磁性素子として利用する場合の、小型かつ幅広い周波数帯域での使用を可能とする素子構造を提案する。【解決手段】磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子の積層面に対して略平行となるように、前記磁気抵抗効果素子とは離間し、かつ前記磁気抵抗効果素子を挟んで対向して配設された一対の主磁極層と、前記積層面に対して垂直方向に前記主磁極層と対向し、その一部が前記主磁極層に連結して配設されたリターンヨーク層と、前記主磁極層と前記リターンヨーク層との間に、前記積層面に対して略平行となるよう配設された薄膜コイル層と、を有し、前記リターンヨーク層は、一体的に配設されていることを特徴とする薄膜磁性素子。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

非磁性スペーサー層を介して磁化固定層と磁化自由層を備えた磁気抵抗効果素子と、 前記磁気抵抗効果素子の積層面に対して垂直方向に前記磁気抵抗効果素子を介して配設された一対の電極と、 前記積層面に対して略平行となるように、前記磁気抵抗効果素子とは離間し、かつ前記磁気抵抗効果素子を挟んで対向して配設された一対の主磁極層と、 前記積層面に対して垂直方向に前記主磁極層と対向し、その一部が前記主磁極層に連結して配設されたリターンヨーク層と、 前記主磁極層と前記リターンヨーク層との間に、前記積層面に対して略平行となるよう配設された薄膜コイル層と、 を有することを特徴とする薄膜磁性素子。

IPC (3件)：

H01L 43/08 ,  G11B 5/39 ,  H01L 29/82

FI (3件)：

H01L43/08 Z ,  G11B5/39 ,  H01L29/82 Z

Fターム (38件)：

5D034BA02 ,  5D034BA08 ,  5D034BA11 ,  5D034BA21 ,  5D034CA08 ,  5F092AA12 ,  5F092AA15 ,  5F092AB02 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AC21 ,  5F092AD03 ,  5F092AD12 ,  5F092BB03 ,  5F092BB04 ,  5F092BB05 ,  5F092BB09 ,  5F092BB10 ,  5F092BB17 ,  5F092BB22 ,  5F092BB23 ,  5F092BB24 ,  5F092BB34 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB37 ,  5F092BB42 ,  5F092BB43 ,  5F092BB44 ,  5F092BB53 ,  5F092BB55 ,  5F092BB81 ,  5F092BB82 ,  5F092BC07 ,  5F092BC13 ,  5F092BC46 ,  5F092BC47 ,  5F092EA08