特許

J-GLOBAL ID：201303018710595270

ブリッジを備えるソリッドマウントバルク音響波共振器構造

発明者： フェン,クリス ,  チョイ,ジョン ,  ニッケル,フィル
出願人/特許権者： アバゴ・テクノロジーズ・ワイヤレス・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277638
公開番号（公開出願番号）：特開2013-138425
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：

【課題】活性領域を有するBAW共振器では、該活性領域に対する接続部が損失を大きくする場合があって、Q因子を低下させる事から、Q因子を低下させる音響損失を克服する、BAW共振器に於ける音響共振器構造の提供。【解決手段】ソリッドマウントバルク音響共振器100は、第1の電極102、第2の電極104、第1の電極と第2の電極の間に配置された圧電層103、及び、該第1の電極、該第2の電極、及び該圧電層の下に配置された複数の層からなる音響反射器105を備える。該音響反射器と該第1の電極と該第2の電極と該圧電層のオーバーラップしている部分が該音響共振器の活性領域114を画定し、該圧電層は、該第1の電極の端(エッジ)の上に延在する。該音響共振器はまた、該音響共振器の活性領域の終端に隣接するブリッジ108を備える。該ブリッジは、該第1の電極の一部とオーバーラップする。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

ソリッドマウントバルク音響共振器であって、 第1の電極と、 第2の電極と、 前記第1の電極と前記第2の電極の間に配置された圧電層と、 複数の層を有し、かつ、前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記圧電層の下に配置された音響反射器であって、前記音響反射器と前記第1の電極と前記第2の電極と前記圧電層がオーバーラップしている部分が前記音響共振器の活性領域を画定する、音響反射器と、 前記音響共振器の前記活性領域の終端に隣接するブリッジ を備え、 前記ブリッジは、前記第1の電極の一部とオーバーラップし、 前記圧電層は、前記第1の電極の端の上に延在する、音響共振器。

IPC (1件)：

H03H 9/17

FI (1件)：

H03H9/17 F

Fターム (3件)：

5J108CC11 ,  5J108EE04 ,  5J108KK03