特許
J-GLOBAL ID：201303019402818426
発光装置の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-096260
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145766
出願日： 2013年05月01日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：
【課題】基板上に異なる複数の材料層を積層する際、スループットを向上しつつ、円滑に材料層の所望のパターン形状を得る成膜方法および発光装置の作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】予め、第1の基板上の光吸収層と重なる位置にポンプ圧層により材料層を選択的に形成する。1枚の成膜用基板に3種類の発光層をそれぞれ成膜する。この第1の基板と被成膜基板となる第2の基板とを対向して配置し、光吸収層に光の照射を行って加熱し、第2の基板に成膜を行う。光の照射前に1回の位置アライメントを行うだけで、3種類の発光層を位置精度良く成膜することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の基板の一方の面に光吸収層を形成し、
材料液をノズルから吐出して、前記光吸収層上に材料層を形成し、
前記第1の基板の前記材料層が形成された面と、第1の電極を有する第2の基板の被成膜面とを対向させ、
前記第1の基板の他方の面側から光を前記光吸収層に照射して、前記第1の電極上に有機化合物を含む層の形成を行い、
前記有機化合物を含む層上に第2の電極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, H05B 33/02
, H05B 33/26
H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/02
, H05B33/26 A
, H05B33/26 Z
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107BB02
, 3K107CC45
, 3K107DD21
, 3K107DD26
, 3K107DD70
, 3K107DD87
, 3K107EE27
, 3K107GG06
, 3K107GG09
, 3K107GG28
