特許

J-GLOBAL ID：201303019622364264

2軸偏向電磁駆動型光偏向器

発明者： 井関 隆之
出願人/特許権者： 株式会社JVCケンウッド
代理人 (2件)： 三好 秀和 ,  高橋 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121125
公開番号（公開出願番号）：特開2013-246361
出願日： 2012年05月28日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：

【課題】レーザビーム等の光を2次元状に走査する2軸偏向電磁駆動型光偏向器において、ジンバルフレーム部分のシリコンの厚みを薄くしても、必要な剛性を維持することを可能とし、安定した偏向動作及び制御動作を実現するとともに、装置構成の小型化を可能とする。【解決手段】 空芯コイル9は、線材が複数回、複数層に渡って巻線され、それぞれの線材が接着され固定されて構成されており、ジンバルフレーム4は、空芯コイル9が貼り付けられることによって、この空芯コイル9に支持されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

外周フレームと、 前記外周フレームにより、第1の遥動軸を介して、第1軸回りに揺動可能に支持されたジンバルフレームと、 前記ジンバルフレームにより、第2の遥動軸を介して、前記第1軸に直交する第2軸回りに揺動可能に支持されたミラーと、 前記ジンバルフレームに取り付けられた空芯コイルと、 前記空芯コイルを磁界中に位置させる磁気回路と を備え、 前記空芯コイルは、線材が複数回、複数層に渡って巻線され、それぞれの線材が接着され固定されて構成されており、 前記ジンバルフレームは、前記第1の揺動軸に直交する方向で平行な一対の棒状に形成されており、前記空芯コイルが貼り付けられることによって、この空芯コイルに支持されて一体化しており、少なくとも2本のアームを有し、これらアームの先端側において、各アームにほぼ直交する方向となされた少なくとも2本の第2の揺動軸によって、前記第2軸回りに前記ミラーを揺動可能に支持しており、 前記ミラーは、各第2の揺動軸の対称軸を中心として、偏向動作する ことを特徴する2軸偏向電磁駆動型光偏向器。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113

FI (4件)：

G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z

Fターム (24件)：

2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC05 ,  2H141MD13 ,  2H141MD19 ,  2H141MZ18 ,  3C081AA07 ,  3C081AA11 ,  3C081BA22 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA54 ,  3C081EA08 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA13 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15 ,  5C072XA01