特許
J-GLOBAL ID:201303019971040077

プロセス制御ループパラメータの推定値の統計的に決定する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 特許業務法人 有古特許事務所 ,  高田 聰
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-516031
特許番号:特許第5015396号
出願日: 2000年08月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 プロセス制御ループに関連したパラメータの推定値を決定する方法であって、 前記プロセス制御ループ内の信号を測定するステップと、 該測定した信号を信号データとして格納するステップと、 パラメータの推定値を決定するために、該格納した信号データに統計解析を実行するステップとを含み、 前記測定した信号が、プロセス環境内でプロセス制御ループが正常に作動し、オンライン接続されているときの、プロセス制御ループ内のプロセス制御デバイスの正常作動の結果として生成される信号であり、 前記パラメータの推定値が、アクチュエータが移動するために加えられるアクチュエータ圧力に応じて移動するアクチュエータを有するデバイスによって生じる摩擦推定値であって、 前記測定するステップが、アクチュエータ圧力を示す第1信号を測定するステップと、前記デバイス内における前記アクチュエータの位置を示す第2信号を測定するステップとを含み、 前記格納するステップが、一連のデータポイントを格納するステップを含み、各データポイントが前記アクチュエータ圧力信号から得られたアクチュエータ圧力成分と前記アクチュエータ位置信号から得られたアクチュエータ位置成分とを有し、 前記統計解析を実行するステップが、一連のデータポイントから縮小されたデータセットを生成するステップと、該縮小されたデータセットから前記摩擦推定値を決定するステップとを含み、 前記縮小されたデータセットを生成するステップが、前記データポイントが前記デバイス内の前記アクチュエータによって静止摩擦力が支配的に生じる領域である摩擦帯域以外にあるかどうかを判断するため、一連のデータポイントのそれぞれを解析するステップと、該摩擦帯域以外にあると判断されたそれらのデータポイントを含むように、前記縮小されたデータセットを生成するステップとを含む、方法。
IPC (2件):
G05B 13/02 ( 200 6.01) ,  G05B 23/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
G05B 13/02 D ,  G05B 23/02 R
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平1-153881
  • 特開平1-153881
  • 特開平3-245018
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