位置測定装置とこのような位置測定装置を備えた構造体

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 鍛冶澤實 , 清田栄章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-056864
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195432
出願日： 2013年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：

【課題】少ないコストでいろいろな測定方向に沿った物体の位置を測定技術的に検出する、可動の物体の高精度の位置検出のための可能性を提供する。【解決手段】位置測定装置は第2物体に対する第1物体の位置を検出する働きをし、位置測定装置は両物体の一方に連結された光学ユニットを具備し、この光学ユニットは所定配置の少なくとも1個の光源と検出装置と他の光学要素を備えている。位置測定装置はさらに、他方の物体に配置された測定スケール-反射器-ユニット30’を具備し、この測定スケール-反射器-ユニット30’はトラック内に異なるように形成された少なくとも2つの領域を備え、この領域は位置検出のために光学ユニットによって光学的に走査可能である。領域の異なる形成によって位置検出時に異なる測定方向間の切り換えが可能であり、各測定方向について光学ユニットによってそれぞれ両物体の相対運動に関する位置信号を発生する。【選択図】図2b

請求項（抜粋）：

第2物体(5)に対する第1物体(1)の位置を検出するための位置測定装置であって、前記第1物体と前記第2物体が少なくとも2つの測定方向(x,y,z)に沿って相対的に移動可能に配置され、 -前記位置測定装置が前記両物体の一方(5)に連結された光学ユニット(2)を具備し、この光学ユニットが所定配置の少なくとも1個の光源と検出装置と他の光学要素を備え、 -前記位置測定装置が他方の物体(1)に配置された測定スケール-反射器-ユニット(3,30’)を具備し、該測定スケール-反射器-ユニットがトラック(3.1,3.4,3.4’)内に異なるように形成された少なくとも2つの領域(3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’)を備え、この領域が位置検出のために前記光学ユニット(2)によって光学的に走査可能であり、前記領域(3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’)の異なる形成によって位置検出時に異なる前記測定方向(x,y,z)間の切換が可能であり、各測定方向(x,y,z)について前記光学ユニット(2)によってそれぞれ両物体(1,5)の相対運動に関する位置信号を発生することができることを特徴とする位置測定装置。

IPC (2件)：

G01D 5/347 , G01D 5/38

FI (2件)：

G01D5/347 110D , G01D5/38 A

Fターム (12件)：

2F103BA33 , 2F103BA43 , 2F103CA02 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103EA01 , 2F103EB01 , 2F103EB11 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EC11

引用特許：

出願人引用 (4件)

位置検出装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-048819 出願人：キヤノン株式会社
光学式エンコーダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-362941 出願人：オリンパス光学工業株式会社
位置測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-527731 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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審査官引用 (4件)

位置検出装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-048819 出願人：キヤノン株式会社
光学式エンコーダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-362941 出願人：オリンパス光学工業株式会社
位置測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-527731 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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