四塩化ケイ素を反応させてトリクロロシランを得るための流通管反応器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 久野琢也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-549270
公開番号（公開出願番号）：特表2013-517207
出願日： 2010年12月15日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：

本発明は、四塩化ケイ素を水素と水素化脱塩素反応器中で反応させてトリクロロシランを得るための方法に関し、その際、水素化脱塩素反応器は、加圧下で運転され、かつ、セラミック材料から成る1つ以上の反応器管を包含する。さらに、本発明は、係る水素化脱塩素反応器を、金属シリコンからトリクロロシランを製造するための装置に一体化された要素として使用することに関する。

請求項（抜粋）：

四塩化ケイ素を水素化脱塩素反応器(3)中で水素と反応させてトリクロロシランを得る方法において、該水素化脱塩素反応器(3)を加圧下で運転し、かつ、該反応器(3)が、セラミック材料から成る1つ以上の反応器管(3a、3b、3c)を包含することを特徴とする方法。

IPC (1件)：

C01B 33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (11件)：

4G072AA14 , 4G072GG04 , 4G072GG05 , 4G072HH01 , 4G072HH08 , 4G072JJ01 , 4G072LL02 , 4G072MM01 , 4G072MM08 , 4G072RR04 , 4G072RR11

引用特許：

審査官引用 (6件)

高温のガスと接触するための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-059641 出願人：ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
特開昭57-017415
特開昭57-129817

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