特許
J-GLOBAL ID：201303020652919498
動的コンポーネントトラッキングシステムおよびそのための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-081103
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211016
出願日： 2013年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：
【課題】複数のツールにわたるプラズマ処理ツールコンポーネントの管理を容易にする方法を提供する。【解決手段】識別および使用履歴を含む、第1のコンポーネントデータを、第1のツールに関連する第1のデータベースで受取る。第2のコンポーネントデータを、第2のツールに関連する第2のデータベースで受取る。第2のツールは第1のツールとは異なる。第1および第2のコンポーネントデータを、第3のデータベースと同期させる。第3のデータベースは、複数のツールとデータをやりとりするように結合されている。さらに、交換、分析、およびメンテナンスのうちの1つを実行する前に、所定のコンポーネントに関する規則および使用履歴データを用いて、情報を取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のツールにわたるプラズマ処理ツールコンポーネントの管理を容易にする、コンピュータが実施するシステムであって、
第1の複数のコンポーネントのための少なくとも1つのプラズマ処理システムコンポーネント識別およびプラズマ処理システムの使用履歴を含む、前記第1の複数のコンポーネントのための第1のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第1のツールに関連する第1のデータベースで受取る手段と、
第2の複数のコンポーネントのための少なくとも1つのプラズマ処理システムコンポーネント識別およびプラズマ処理システムの使用履歴を含む、前記第2の複数のコンポーネントのための第2のコンポーネントデータを、前記複数のツールのうちの第2のツールに関連する第2のデータベースで受取る手段であって、前記第2のツールが前記第1のツールとは異なることと、
プロセッサーと前記第1のコンポーネントデータおよび前記第2のコンポーネントデータを、第3のデータベースと同期させて使用することであって、前記同期させることは、コンピュータメモリの中の前記第3のデータベースと、前記第1のデータベースおよび第2のデータベースの少なくとも一方との間で、前記第1の複数のコンポーネントと第2の複数のコンポーネントの少なくとも一方のコンポーネントの使用を管理する一連の規則に従って同期させる手段を含み、前記第3のデータベースは、前記複数のツールとデータをやりとりするように結合され、前記一連の規則は、前記プラズマ処理システムの少なくとも1つのプラズマ処理システムコンポーネントのメンテナンスと取付けのうちの1つを管理する、少なくとも1つの規則を含み、
前記複数のツールのうちの1つにおいて、所定のコンポーネントに対して、交換、分析、およびメンテナンスのうちの1つを実行する前に、前記一連の規則、および少なくとも前記第3のデータベースにおける使用履歴データを用いて、前記所定のコンポーネントに関する情報を取得する手段と、
を含むシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06Q50/04
, G06Q50/10 130
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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