特許
J-GLOBAL ID：201303020754283997
濃度測定センサ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 磯貝 克臣
, 堀田 幸裕
, 村田 卓久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-051945
公開番号（公開出願番号）：特開2013-185991
出願日： 2012年03月08日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】濃度測定センサを製造する際の製造工程を減らすことができ、タクトタイムを短縮するとともに製造コストを削減することが可能な、濃度測定センサの製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性基材12上に、第1導電性材料からなる第1導電層37を形成する。次に、第1導電層37上に、第2導電性材料からなる第2導電層38をパターン状に形成する。その後、第2導電層38をエッチングマスクとして第1導電層37をエッチングすることにより、パターニングされた第1導電層37により一対の配線部13a、13bが形成され、第2導電層38により作用電極14a、対電極14bおよび一対の接続端子15a、15bが形成される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
溶液中の物質の濃度を測定するための濃度測定センサであって、少なくとも一方の面が絶縁性をもつ絶縁面となる基材と、基材の絶縁面上に設けられた第1導電性材料からなる一対の配線部と、一方の配線部の一端に接続された作用電極および他方の配線部の一端に接続された対電極と、各配線部の他端に接続された一対の接続端子とを備えた、濃度測定センサの製造方法において、
基材を準備する工程と、
基材の絶縁面上に、第1導電性材料からなる第1導電層を形成する工程と、
第1導電層上に、第1導電性材料と異なる第2導電性材料からなる第2導電層をパターン状に形成する工程と、
第2導電層をエッチングマスクとして第1導電層をエッチングすることにより、パターニングされた第1導電層により一対の配線部を形成し、第2導電層により作用電極、対電極および一対の接続端子を形成する工程とを備えたことを特徴とする濃度測定センサの製造方法。
IPC (3件)：
G01N 27/416
, G01N 27/327
, G01N 27/30
G01N27/46 336Z
, G01N27/46 338
, G01N27/46 336G
, G01N27/30 353R
, G01N27/30 B
, G01N27/30 353P
