特許
J-GLOBAL ID：201303020859564517
ガラス板研磨装置の監視方法及び監視システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-176929
公開番号（公開出願番号）：特開2013-082055
出願日： 2012年08月09日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：
【課題】本発明は、ガラス板の破損発生率を低減できるガラス板研磨装置の監視方法及び監視システムを提供する。【解決手段】搬出部36におけるガラス板Gの破損を低減させるために、実施の形態では、画像処理部34で算出された実面積が基準面積となるように、液体塗布部14でのグリセリンの塗布量を、グリセリン制御部42によって制御する。すなわち、液体塗布部14において塗布されたグリセリンによる吸着部分が、剥離部22によって剥離された際に基準面積と略等しくなるように、グリセリンの塗布量をグリセリン制御部42によって制御する。例えば、ガラス板Gの非研磨面の全てを吸着シート12に吸着させるのではなく、吸着部分と非吸着部分を備えるとともに、前記吸着部分を所定のエリアに分割するように、グリセリン制御部42によってグリセリンの塗布量を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガラス板を吸着する吸着シートに液体を塗布する液体塗布工程と、
前記液体が塗布された前記吸着シートにガラス板の非研磨面を吸着させる吸着工程と、
前記吸着シートに吸着された前記ガラス板の研磨面を研磨する研磨工程と、
前記研磨面が研磨された前記ガラス板と前記吸着シートとの境界部に流体を噴射して、 前記ガラス板の一部を前記吸着シートから剥離させる剥離工程と、
前記吸着シートから一部が剥離された前記ガラス板を撮像する撮像工程と、
前記撮像された前記ガラス板の画像情報を画像処理して前記吸着シートに対する前記ガラス板の吸着部分の面積を演算する画像処理工程と、
を備えたことを特徴とするガラス板研磨装置の監視方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
3C043BB06
, 3C043CC07
, 3C043CC11
, 3C043DD03
, 3C043DD05
, 3C043DD06
, 3C043DD12
, 3C043EE04
, 3C058AA07
, 3C058BA09
, 3C058BB09
, 3C058CA06
