特許

J-GLOBAL ID：201303021210790980

表面保護シート

発明者： 山戸 二郎 ,  林 圭治 ,  澤▲崎▼ 良平 ,  吉田 真理子
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (2件)： 籾井 孝文 ,  吉田 昌靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-086538
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147664
出願日： 2013年04月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：

【課題】被着体に対して良好に粘着し、且つ、経日による粘着力の上昇が起こりにくく、容易に再剥離ができ、剥離後の被着体表面への粘着剤の残留が少なく、被着体である塗装板表面のセルフクリーニング性を損なわない表面保護シートを提供する。【解決手段】本発明の表面保護シートは、基材層と粘着剤層とを備える表面保護シートであって、該表面保護シートの該粘着剤層側をシリコンウエハに貼り付けて40°Cで24時間放置した後に23°Cの温度環境下に置いて該表面保護シートを剥離して得られた該シリコンウエハの表面の、光電子分光分析によるC/Si比が0.8以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材層と粘着剤層とを備える表面保護シートであって、 シリコンウエハに該表面保護シートを貼り付けて40°Cで24時間放置した後に23°Cの温度環境下に置いて該表面保護シートを剥離した後の該シリコンウエハの表面の光電子分光分析によるC/Si比が0.8以下である、 表面保護シート。

IPC (4件)：

C09J 7/02 ,  C09J 133/00 ,  C09J 201/00 ,  B32B 27/00

FI (4件)：

C09J7/02 Z ,  C09J133/00 ,  C09J201/00 ,  B32B27/00 M

Fターム (64件)：

4F100AB03C ,  4F100AG00C ,  4F100AK25B ,  4F100AK53 ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100CA02 ,  4F100EJ05B ,  4F100EJ55 ,  4F100JK15C ,  4F100JL13B ,  4F100JN06C ,  4F100YY00B ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AA11 ,  4J004AB04 ,  4J004CA03 ,  4J004CA06 ,  4J004CA08 ,  4J004CB02 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004DB01 ,  4J004FA04 ,  4J040BA202 ,  4J040CA001 ,  4J040DF001 ,  4J040DK012 ,  4J040DN032 ,  4J040DN072 ,  4J040EB032 ,  4J040EB102 ,  4J040EB132 ,  4J040EC002 ,  4J040EF282 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA11 ,  4J040GA19 ,  4J040GA25 ,  4J040GA26 ,  4J040HB03 ,  4J040HB30 ,  4J040HB41 ,  4J040HD41 ,  4J040JA02 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA16 ,  4J040KA23 ,  4J040KA26 ,  4J040LA01 ,  4J040LA06 ,  4J040MA01 ,  4J040MA10 ,  4J040PA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA42