特許
J-GLOBAL ID：201303021381430605
光走査装置及び光走査制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-152834
公開番号（公開出願番号）：特開2013-092750
出願日： 2012年07月06日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：
【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第1の駆動梁と、第1の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第1の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第1の圧電センサを有し、第1の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第1の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第1の駆動梁に向かって引き出される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第1の駆動梁と、
前記第1の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、
前記連結梁上に形成されており、前記第1の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、前記捻れ梁の軸周りの揺動による前記連結梁の変位を検出する第1の圧電センサを有し、
前記第1の圧電センサは、
上部電極配線が前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む一方の前記第1の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線が前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟む他方の前記第1の駆動梁に向かって引き出される光走査装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB44
, 2H045BA12
, 2H045DA02
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC09
, 2H141MD13
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD24
, 2H141MF05
, 2H141MZ06
, 2H141MZ13
, 2H141MZ16
, 3C081AA01
, 3C081BA22
, 3C081BA28
, 3C081BA33
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA55
, 3C081BA76
, 3C081EA08
