特許
J-GLOBAL ID：201303021596822792

サブリメーションポンプおよび方法

発明者：
マックィーバ, カール アール.

マックィーバ, カール アール. について


出願人/特許権者：
ザ・ボーイング・カンパニー

ザ・ボーイング・カンパニー について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-212420
公開番号（公開出願番号）：特開2013-072435
出願日： 2012年09月26日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：
【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも1つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
真空室(22)の圧力を低下させる方法であって、 格子開口(152)、および少なくとも1つの格子面によって画定された格子内部(154)を有する格子(150)内に配置されたサブリメーション要素(104)を加熱するステップと、 前記格子面に反応膜(114)を形成するステップと、 前記格子開口(152)を通って気体分子(24)を前記格子内部(154)へと向かわせるステップと、 前記気体分子(24)を前記反応膜(114)に付着させるステップと を含む方法。
IPC (3件)：
F04B 37/02 ,  F04B 37/04 ,  F04C 25/02
FI (3件)：
F04B37/02 B ,  F04B37/04 ,  F04C25/02 B
Fターム (11件)：
3H076AA16 ,  3H076AA23 ,  3H076AA25 ,  3H076BB21 ,  3H076CC51 ,  3H076CC54 ,  3H129AB06 ,  3H129BB35 ,  3H129CC09 ,  3H129CC46 ,  3H129CC52
引用特許：
審査官引用 (4件)
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