特許
J-GLOBAL ID:201303021769417686
弾力性多層ゲッター
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
藤本 昇
, 中谷 寛昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-219516
公開番号(公開出願番号):特開2013-063428
出願日: 2012年10月01日
公開日(公表日): 2013年04月11日
要約:
【課題】従来のゲッターには、各種の問題があるので、それらを解決するゲッターを提供する。【解決手段】ガス貯留層104を覆うガス透過層102を有する弾力性多層ゲッター100を用いる。具体例では、前記透過層102はガス貯留層104の部分を覆っている。もう一つの具体例では、障壁106は前記ガス貯留層104の部分を覆っている。前記障壁は箔基材、不動態層又はガス透過層を含み得る。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1表面と第2表面とを有するガス貯留層と、
前記ガス貯留層の第1表面を覆うガス透過層と、
前記ガス貯留層の第2表面上の障壁と、を有する多層ゲッター箔。
IPC (5件):
B01D 53/14
, B01J 20/02
, B01J 20/28
, B01J 20/32
, B01J 23/44
FI (6件):
B01D53/14 A
, B01J20/02 A
, B01J20/02 B
, B01J20/28 A
, B01J20/32 Z
, B01J23/44 A
Fターム (21件):
4D020AA01
, 4D020BA03
, 4D020BA04
, 4D020BA05
, 4D020BB01
, 4D020CA02
, 4D020DA03
, 4D020DB20
, 4G066AA02B
, 4G066AA02D
, 4G066BA03
, 4G066BA05
, 4G066CA38
, 4G169AA03
, 4G169BC72B
, 4G169CA02
, 4G169CA07
, 4G169DA05
, 4G169EA07
, 4G169FA03
, 4G169FB23
引用特許: