特許
J-GLOBAL ID：201303021784227575
反射型面対称結像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菊地 保宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-064709
公開番号（公開出願番号）：特開2012-150502
特許番号：特許第5318242号
出願日： 2012年03月22日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 直交する第1及び第2光反射面を有する微小ミラーユニットがマトリクス状に配列された平板状の構造体からなり、入射光を前記第1及び第2光反射面により2回反射する反射型面対称結像素子の製造方法であって、
複数の平板ミラーをその光反射主面を同一方向に向けて積層して前記複数の平板ミラーを固着させることにより平行ミラーブロックを形成する積層工程と、
前記平行ミラーブロックを前記複数の平板ミラーの光反射主面に対して垂直となる方向に等間隔で切断して複数の長手光反射面が平行に配列された少なくとも2つのミラーシートを形成する切断工程と、
前記2つのミラーシートのうちの一方のミラーシートの長手光反射面と他方のミラーシートの長手光反射面とが直交するように前記2つのミラーシートを貼り合わせて前記反射型面対称結像素子を作成する貼り合わせ工程と、を備え、
前記一方のミラーシートの長手光反射面が前記第1光反射面となり、他方のミラーシートの長手光反射面が前記第2光反射面となり、
前記反射型面対称結像素子の法線に対する観察方向の角度をθ、前記平板ミラーの厚みをW、前記ミラーシートの光学屈折率をn、前記反射型面対称結像素子の中での法線に対する光線軸の傾き角をXとすると、前記等間隔の仕上げ研磨による削りしろを含まない切断幅Dは、
のように表されることを特徴とする反射型面対称結像素子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G02B 5/08 C
, G02B 5/08 A
