特許

J-GLOBAL ID：201303022053294075

熱電材料測定装置

発明者： 島田 賢次 ,  石井 芳一
出願人/特許権者： アルバック理工株式会社
代理人 (1件)： 松下 昌弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084677
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214641
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】試料の2つの測定点の位置、並びに間隔を柔軟に変更することができる熱電特性測定装置を提供する。【解決手段】、プローブユニット61,63を上下方向に個別に移動する。これにより、プローブユニット61の先端部65と、プローブユニット63の先端部67との上下方向の位置を個別に柔軟に変更できる。試料3の測定点に対して当該測定点に向けて付勢した状態で接触し、接触位置を安定させることもできる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

被測定対象の第1の測定点に第1のプローブの第1の先端部を接触させ、前記被測定対象の第2の測定点に第2のプローブの第2の先端部を接触させ、前記第1の測定点と前記第2の測定点との温度差と、前記第1の測定点と前記第2の測定点との間の電圧とを検出する熱電特性測定装置であって、 前記第1のプローブおよび前記第2のプローブの少なくとも一方は、可動プローブであり、 当該可動プローブは、 当該可動プロ-ブを固定し、当該可動プローブの先端が前記被測定対象と遠近する方向に移動可能となるように、当該先端を前記被測定対象に押し当てる向きである第1の回転方向に付勢された状態で、所定の回転軸を中心に回転する台座と、 前記前記第1の回転方向とは反対の第2の回転方向に前記台座を回転させる回転操作手段と、 前記第1の測定点と前記第2の測定点とを結ぶ方向に前記可動プローブを移動させる移動手段と を有する熱電特性測定装置。

IPC (3件)：

H01L 35/28 ,  G01K 7/02 ,  G01N 25/00

FI (3件)：

H01L35/28 Z ,  G01K7/02 Z ,  G01N25/00 B

Fターム (4件)：

2G040AB18 ,  2G040CA13 ,  2G040CA22 ,  2G040DA03