特許

J-GLOBAL ID：201303022077735560

プラズマ光源

発明者： 桑原 一
出願人/特許権者： 株式会社IHI
代理人 (5件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-225929
公開番号（公開出願番号）：特開2013-089634
出願日： 2011年10月13日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：

【課題】極端紫外光を放射するプラズマを生成するための理想的な面状放電を発生させることが可能なプラズマ光源を提供する。【解決手段】プラズマ光源であって、互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極10と、各同軸状電極10に対して極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置30とを備え、各同軸状電極10は、単一の軸線Z-Z上に延びる棒状の中心電極12と、中心電極12と一定の間隔を隔て、且つ中心電極12の周方向に配置された複数の外部電極14と、中心電極12及び複数の外部電極14を絶縁する絶縁体16とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極と、各前記同軸状電極に対して極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置とを備え、 各前記同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、前記中心電極と一定の間隔を隔て、且つ前記中心電極の周方向に配置された複数の外部電極と、前記中心電極及び前記複数の外部電極を絶縁する絶縁体とを有することを特徴とするプラズマ光源。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H05G 2/00

FI (3件)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 503 ,  H05G1/00 K

Fターム (11件)：

2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA04 ,  4C092AB12 ,  4C092AC09 ,  4C092BB23 ,  4C092BD01 ,  4C092BD10 ,  5F146GA21 ,  5F146GA28 ,  5F146GC13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プラズマ光源とプラズマ光発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-322526   出願人：株式会社IHI, 国立大学法人東京工業大学