特許
J-GLOBAL ID：201303022126383705
試料分析素子並びに検査装置およびセンサーカートリッジ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-109188
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234977
出願日： 2012年05月11日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：
【課題】ホットスポットの面密度を高めつつ近接場光の増強を実現することができる試料分析素子は提供される。【解決手段】試料分析素子11では基体12の表面に複数のナノ構造体15が配列される。個々のナノ構造体15では誘電体18が金属膜19で覆われる。ナノ構造体15は複数列のナノ構造体列16を形成する。個々のナノ構造体列16ではナノ構造体15は励起光の波長よりも小さい第1ピッチSPで並べられ、ナノ構造体列16は第1ピッチSPよりも大きい第2ピッチLPで並列に並べられる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、
前記基体の表面に配列されて、金属膜で誘電体を覆う複数のナノ構造体と、を備え、
前記ナノ構造体は複数列のナノ構造体列を形成し、個々の前記ナノ構造体列では前記ナノ構造体は励起光の波長よりも小さい第1ピッチで第1方向に並べられ、前記ナノ構造体列は前記第1ピッチよりも大きい第2ピッチで前記第1方向とは交差する第2方向に並べられることを特徴とする試料分析素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2G043BA17
, 2G043EA03
, 2G043GA03
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB02
, 2G043GB03
, 2G043GB05
, 2G043GB16
, 2G043HA01
, 2G043HA09
, 2G043JA02
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043NA06
