特許
J-GLOBAL ID：201303022828867476
半導体検査装置及び通信輻輳防止方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大賀 眞司
, 百本 宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097178
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225596
出願日： 2012年04月20日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
【課題】検査対象物の検査処理中に、予期しない輻輳の発生を防止できる通信輻輳防止方法を提供する。【解決手段】検査対象物の正常検査を行う半導体検査装置10において、全体制御部180と、検査対象物を撮像して画像データを取得する画像データ取得部190と、画像データを複数に分割して送信する送信部130と、画像データに対する検査処理を行う画像処理部160と、輻輳が発生し得る状況を検出した場合に輻輳状況を通知する輻輳検出部とを備える。正常検査を行う前にテスト用の画像データを用いた輻輳テストを行い、輻輳テスト時には、送信部130が、輻輳情報の通知を受信した場合に該輻輳状況を履歴情報として記録し、全体制御部180が、画像データの送信タイミングを規定する送信タイミング情報を履歴情報に基づいて更新し、輻輳テスト時及び正常検査時には、送信部130が、更新された送信タイミング情報の規定に従って画像データを送信する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物の欠陥情報の有無を検査する正常検査を行う半導体検査装置において、
前記半導体検査装置内の各部を制御する全体制御部と、
前記検査対象物を撮像し、該撮像により得られた画像データを出力する画像データ取得部と、
前記画像データ取得部から出力される前記画像データを複数に分割して送信する送信部と、
前記送信部から受信した前記画像データに対して欠陥情報の有無を検査し、検査結果を前記全体制御部に送信する画像処理部と、
前記送信部と前記画像処理部との通信で輻輳が発生し得る状況を検出した場合に輻輳状況を通知する輻輳検出部と
を備え、
前記正常検査を行う前にテスト用の画像データを用いた輻輳テストを行い、
前記輻輳テスト時には、
前記送信部が、前記輻輳検出部から輻輳状況の通知を受信した場合に該輻輳状況を履歴情報として記録し、
前記全体制御部が、前記送信部による前記画像データの送信タイミングを規定する送信タイミング情報を前記履歴情報に基づいて更新し、
前記輻輳テスト時及び前記正常検査時には、
前記送信部が、前記更新された送信タイミング情報の規定に従って前記画像データを送信する
ことを特徴とする半導体検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 J
, G06T1/00 305A
4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106CA38
, 4M106DB20
, 4M106DJ11
, 4M106DJ23
, 5B057AA03
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CH14
, 5B057CH16
, 5B057CH20
, 5B057DA03
