特許
J-GLOBAL ID：201303023037862035
振動子、電子部品及び振動子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-193730
公開番号（公開出願番号）：特開2013-070367
出願日： 2012年09月04日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：
【課題】圧電薄膜の中心部と外縁部との間で周方向に亘って膨張収縮する輪郭振動が互いに同相で起こるように各々構成された2つの振動体を連結部により連結した振動子において、前記輪郭振動が連結部によって阻害されることを抑制すること。【解決手段】互いに同相で輪郭振動を起こすディスクレゾネータ31、13の間に音叉型振動体11を介在させ、この音叉型振動体11の振動腕部14、14の夫々にディスクレゾネータ31、31を接続する。そして、音叉型振動体11について、ディスクレゾネータ31、31の膨張収縮を吸収するように、これらディスクレゾネータ31、31に対して逆相で振動させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース基板と、
このベース基板に支持された基部、この基部から互いに離間して伸び出すと共に各々圧電体により構成された2本の振動腕部及びこれら振動腕部の各々を挟むように形成された一対の励振電極を有する音叉型振動体と、
前記一対の振動腕部のうち一方の振動腕部に外縁部が接続された圧電薄膜及びこの圧電薄膜を板厚方向から挟むように形成された一対の励振電極を有し、前記圧電薄膜の中心部と外縁部との間で膨張収縮する輪郭振動が起こるように構成された第1の振動体と、
前記一対の振動腕部のうち他方の振動腕部に外縁部が接続された圧電薄膜及びこの圧電薄膜を板厚方向から挟むように形成された一対の励振電極を有し、前記第1の振動体と同相で前記輪郭振動が起こるように構成された第2の振動体と、
前記一方の振動腕部に形成され、前記第1の振動体の前記励振電極に接続された第1の引き出し電極と、
前記他方の振動腕部に形成され、前記第2の振動体の前記励振電極に接続された第2の引き出し電極と、
前記基部に形成され、前記第1の引き出し電極、前記第2の引き出し電極及び前記振動腕部の励振電極の夫々に対して電気信号の入出力を行うための入出力ポートと、を備え、
前記音叉型振動体は、前記第1の振動体及び前記第2の振動体の輪郭振動を吸収するように、これら第1の振動体及び第2の振動体の振動に対して逆相で屈曲振動するように構成されていることを特徴とする振動子。
IPC (6件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H03H 3/04
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, H01L 41/09
H03H9/17 E
, H03H3/02 B
, H03H3/04 B
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/08 C
5J108BB08
, 5J108CC02
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108DD03
, 5J108DD05
, 5J108DD07
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108KK03
, 5J108MM11
, 5J108NA04
, 5J108NB04
