特許

J-GLOBAL ID：201303023084675472

センサ

発明者： キム,ジョン ウン ,  リ,ゼ サン ,  ジョン,ウォン キュ
出願人/特許権者： サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド.
代理人 (4件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  佐藤 博幸 ,  小池 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-113520
公開番号（公開出願番号）：特開2013-246179
出願日： 2013年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：

【課題】加速度または力を測定する際にクロストルク(Crosstalk)が発生することを防止することができ、角速度を測定する際に共振モードの干渉を除去することができるセンサを提供する。【解決手段】本発明のセンサ100は、質量体110と、質量体110と離隔されるように備えられた固定部120と、Y軸方向に質量体110と固定部120とを連結する第1可撓部130と、X軸方向に質量体110と固定部120とを連結する第2可撓部140と、を含み、第1可撓部130はX軸方向の幅がZ軸方向の厚さより大きく、第2可撓部140はZ軸方向の厚さがY軸方向の幅より大きいものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

質量体と、 前記質量体と離隔されるように備えられた固定部と、 Y軸方向に前記質量体と前記固定部とを連結する第1可撓部と、 X軸方向に前記質量体と前記固定部とを連結する第2可撓部と、を含み、 前記第1可撓部はX軸方向の幅がZ軸方向の厚さより大きく、 前記第2可撓部はZ軸方向の厚さがY軸方向の幅より大きいことを特徴とするセンサ。

IPC (4件)：

G01P 15/18 ,  G01L 5/16 ,  G01C 19/56 ,  G01C 19/564

FI (4件)：

G01P15/00 K ,  G01L5/16 ,  G01C19/56 100 ,  G01C19/56 142

Fターム (15件)：

2F051AA01 ,  2F051AA21 ,  2F051AB06 ,  2F051DA03 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA05 ,  2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CC06 ,  2F105CD01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD03 ,  2F105CD06