特許
J-GLOBAL ID:201303023457994913

製品ガス供給方法、および製品ガス供給システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 吉田 稔 ,  田中 達也 ,  仙波 司 ,  鈴木 泰光 ,  臼井 尚 ,  土居 史明 ,  鈴木 伸太郎 ,  小淵 景太
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-016900
公開番号(公開出願番号):特開2013-154294
出願日: 2012年01月30日
公開日(公表日): 2013年08月15日
要約:
【課題】PSA法で得られた製品ガスを圧縮して消費側に供給するにあたり、消費ガス量が変動しても、消費動力を抑制しつつ安定した消費ガス圧力にて製品ガスを供給するのに適した方法を提供する。【解決手段】目的ガスを含む混合ガスからPSA法により目的ガスが富化された製品ガスを分離し、製品ガスを圧縮して第1の圧力にて供給する方法であって、PSAガス分離装置1にて混合ガスから製品ガスを分離するステップと、製品ガスを圧縮機2により圧縮するステップと、流量計5により圧縮機2を経た製品ガスの流量を測定するステップと、この流量測定値の変動に応じて、流量計5より上流側の流量計31において流量測定値以上である所定の流量設定値となるように圧縮機2を経た製品ガスの流量を調節するステップと、流量計5と流量計31との間における製品ガスの圧力を、上記第1の圧力より大きい第2の圧力に調節するステップと、を含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
目的ガスおよび不要ガスを含む混合ガスから、圧力変動吸着式ガス分離法により目的ガスが富化された製品ガスを分離し、上記製品ガスを圧縮して第1の圧力にて供給する方法であって、 上記混合ガスから圧力変動吸着式ガス分離法により上記製品ガスを分離するステップと、 上記製品ガスを圧縮手段により圧縮するステップと、 第1の測定点において上記圧縮手段を経た上記製品ガスの流量を測定するステップと、 上記第1の測定点における上記製品ガスの流量測定値の変動に応じて、上記第1の測定点よりも上流側である第2の測定点において上記流量測定値以上である所定の流量設定値となるように上記圧縮手段を経た上記製品ガスの流量を調節するステップと、 上記第1の測定点と上記第2の測定点との間の第3の測定点における上記製品ガスの圧力を、上記第1の圧力よりも大である第2の圧力に調節するステップと、を含むことを特徴とする、製品ガス供給方法。
IPC (1件):
B01D 53/04
FI (1件):
B01D53/04 B
Fターム (5件):
4D012BA02 ,  4D012CA05 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CG01
引用特許:
審査官引用 (2件)

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