特許
J-GLOBAL ID：201303023638085508
ガラス基板受け渡し装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-011812
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152265
出願日： 2012年01月24日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
【課題】下流に位置する処理装置へガラス基板を位置精度良く受け渡すガラス基板受け渡し装置を提供する。【解決手段】多数のピンを立設したガラス基板受けピン部と、ロボットと、ガラス基板位置測定部と、ロボットを制御する制御手段とを備えて構成され、前記ガラス基板受けピン部が、ガラス基板を多数の前記ピンの上に載置する機能を有し、前記ロボットが、ガラス基板を支持するロボットハンドと、関節軸とを備えた構造を有しており、かつ、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込み、次にこのロボットハンドを移動させて下流の処理装置に搬送する機能を有し、前記ガラス基板位置測定部が、ピン上に載置されたガラス基板の位置及び向きを測定する機能を有し、前記制御手段が、ガラス基板位置測定部の測定結果に基づき、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させる機能を有することを特徴とするガラス基板受け渡し装置。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
ガラス基板の処理を行なう複数の処理装置からなる製造ラインにおいて、上流に位置する処理装置から前記ガラス基板を受け取り、下流に位置する処理装置に搬送するガラス基板受け渡し装置であって、多数のピンを立設したガラス基板受けピン部と、ロボットと、ガラス基板位置測定部と、ロボットを制御する制御手段とを備えて構成され、
前記ガラス基板受けピン部が、上流の処理装置から受け取ったガラス基板を多数の前記ピンの上に載置する機能を有し、
前記ロボットが、ガラス基板を支持するロボットハンドと、このロボットハンドを左右、前後、上下、Θ方向に移動させる関節軸とを備えた構造を有しており、かつ、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込み、上方に移動させて、予め定められたガラス基板の特定位置をこのロボットハンドで支持し、次にこのロボットハンドを移動させて下流の処理装置に搬送する機能を有し、
前記ガラス基板位置測定部が、ピン上に載置されたガラス基板の位置及び向きを測定する機能を有し、
前記制御手段が、ガラス基板位置測定部の測定結果に基づき、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させる機能を有する、
ことを特徴とするガラス基板受け渡し装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H048BA11
, 2H048BB14
, 2H048BB42
