特許
J-GLOBAL ID：201303024146935669
異常検出装置及び異常検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
萩原 康司
, 金本 哲男
, 亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-142092
公開番号（公開出願番号）：特開2013-033726
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：
【課題】異常放電の判定精度を向上させることが可能な、異常検出装置及び異常検出方法を提供する。【解決手段】処理室内に載置されたウエハであってプラズマ処理後のウエハの脱離開始から搬送ゲートバルブが開くまでの動作を監視し、動作をウエハ脱離時の動作として特定する監視部72と、特定されたウエハ脱離時の動作中、処理室内に高周波電力を印加する高周波電源と整合器との間もしくは被処理体を載置する載置台として機能する下部電極と整合器との間に設けられた方向性結合器から出力される進行波または反射波の少なくともいずれかの高周波信号を取得する取得部73と、取得された高周波信号の波形パターンを解析する解析部74と、高周波信号の波形パターンの解析結果に基づき異常放電の有無を判定する取得部73と、を備えることを特徴とする異常検出装置70が提供される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被処理体をプラズマ処理する処理室内に高周波電力を印加する高周波電源の整合器と被処理体を載置する載置台として機能する下部電極との間に設けられたRFセンサから出力される高周波信号、及び前記処理室において発生するアコースティックエミッションを検出するためのAEセンサから出力されたAE信号を取得する取得部と、
前記取得された高周波信号の波形パターン及び前記AE信号の波形パターンを解析する解析部と、
前記高周波信号の波形パターンの解析結果及び前記AE信号の波形パターンの解析結果に基づき異常放電の有無を判定する異常判定部と、を備えることを特徴とする異常検出装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/306
, H05H 1/00
H05H1/46 M
, H01L21/302 103
, H05H1/00 A
5F004BA09
, 5F004BB11
, 5F004BB22
, 5F004BD01
, 5F004BD04
, 5F004CB01
, 5F004CB05
, 5F004CB17
