特許

J-GLOBAL ID：201303024652302593

磁気センサとその製造方法

発明者： 尾花 雅之 ,  安藤 秀人
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-035690
公開番号（公開出願番号）：特開2013-172040
出願日： 2012年02月22日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：

【課題】本発明の目的は、対向に配置される軟磁性体を用いることで高感度に磁界を検知する磁気センサを提供することである。【解決手段】基板2の上に磁性層と非磁性層とが積層されてなる磁気抵抗効果を発揮する磁気素子Sと、上方からの第1垂直磁界成分を第1水平磁界成分に変換し、第1水平磁界成分を磁気素子Sに作用させる第1軟磁性体4と、下方からの第2垂直磁界成分を第2水平磁界成分に変換し、第2水平磁界成分を磁気素子Sに作用させる第2軟磁性体5とを有し、磁気素子Sが第1軟磁性体4と第2軟磁性体5との間に配置される磁気センサ。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

磁束を検知する磁気素子と、第1軟磁性体と第2軟磁性体と、を有し、 第1の方向に関し、前記第1軟磁性体と前記第2軟磁性体との間に前記磁気素子が配置されてなり、 前記第1軟磁性体が、前記第1の方向に略垂直な第2の方向に関して前記磁気素子を基準にして前記第2軟磁性体とは反対側に配置されてなることを特徴とする磁気センサ。

IPC (4件)：

H01L 43/08 ,  G01R 33/09 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/12

FI (4件)：

H01L43/08 Z ,  G01R33/06 R ,  H01L43/06 Z ,  H01L43/12

Fターム (24件)：

2G017AA01 ,  2G017AA16 ,  2G017AD55 ,  5F092AA01 ,  5F092AA13 ,  5F092AB01 ,  5F092AC02 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AD06 ,  5F092AD07 ,  5F092AD08 ,  5F092BA19 ,  5F092BB17 ,  5F092BB22 ,  5F092BB31 ,  5F092BB42 ,  5F092BB53 ,  5F092BB55 ,  5F092BB81 ,  5F092BB82 ,  5F092BC04 ,  5F092CA20 ,  5F092FA08