特許
J-GLOBAL ID：201303024653410861

基板処理システム及び基板位置矯正方法

発明者：
甲斐 亘三

甲斐 亘三 について

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竹馬 孝真

竹馬 孝真 について

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長田 圭司

長田 圭司 について

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李 振梅

李 振梅 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邊 和浩 ,  星宮 勝美 ,  城澤 達哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002038
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143425
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】簡易な方法でキャリア内の基板の位置ずれを矯正し、装置のダウンタイムを短縮できる基板処理システム及び基板位置矯正方法を提供する。【解決手段】STEP1では、マッピング装置によりマッピングを行う。STEP2では、マッピング動作で検出されたウエハWの位置情報に基づき、ウエハWの位置が異常状態であるか否か、を判定する。ウエハ位置が異常である(Yes)と判定された場合、STEP3では、フープドア19cを一旦閉じた後、開放するクローズ/オープン動作を行う。STEP4では、フープドア19cのクローズ/オープン動作の回数(つまり、ポートドア62のクローズ/オープン動作の回数)をカウントし、STEP5では、このカウント値が設定値未満であるか否かが判断される。カウント値が設定値未満である(Yes)の場合、再びSTEP1〜STEP5の処理を繰り返す。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板を挿入する開口部及び該開口部を閉じる開閉扉を有し、複数の基板を多段に支持して収容する搬送容器を使用し、基板の搬入と搬出を行う基板処理システムであって、 前記搬送容器が装着される載置部と、 前記載置部に装着された前記搬送容器の開閉扉を保持して開閉動作を行う開閉装置と、 前記開閉扉が開放された状態でマッピング動作を実施し、前記搬送容器に収容された基板位置を検出し、基板位置情報として取得するマッピング装置と、 前記開閉装置及び前記マッピング装置を制御する制御部と、 を備えており、 前記制御部は、前記マッピング装置からの基板位置情報に基づき、基板位置が正常状態であるか異常状態であるかを判定し、異常状態である場合に、前記開閉装置により前記開閉扉を閉じた後開放するクローズ/オープン動作を行った後、前記マッピング装置により再度のマッピング動作を行うように制御することを特徴とする基板処理システム。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (17件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA25 ,  5F031MA04 ,  5F031MA13 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA10 ,  5F031PA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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