慣性センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 佐藤博幸 , 小池成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-115754
公開番号（公開出願番号）：特開2013-174576
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：

【課題】クロストーク(Crosstalk)が発生することを防止することができるとともに、最大振幅を示すサンプリングレート(Sampling Rate)時間を減少させることができる慣性センサを提供する。【解決手段】本発明による慣性センサ100は、メンブレイン110と、メンブレイン110の所定点Cに対して互いに対称になるように第1軸方向(X軸方向)に備えられ、第1軸方向(X軸方向)に膨張及び縮小しながら振動する第1駆動手段141及び第2駆動手段143と、メンブレイン110の所定点Cに対して互いに対称になるように第1軸方向(X軸方向)に垂直な第2軸方向(Y軸方向)に備えられ、第2軸方向(Y軸方向)に膨張及び縮小しながら振動する第3駆動手段145及び第4駆動手段147と、を含み、第1駆動手段141と第2駆動手段143が互いに反対に膨張及び縮小しながら振動した後、互いに同一に膨張及び縮小しながら振動するように、第1駆動手段141と第2駆動手段143の振動周波数が相違することを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

メンブレインと、前記メンブレインの所定点に対して互いに対称になるように第1軸方向に備えられ、前記第1軸方向に膨張及び縮小しながら振動する第1駆動手段及び第2駆動手段と、前記メンブレインの所定点に対して互いに対称になるように前記第1軸方向に垂直な第2軸方向に備えられ、前記第2軸方向に膨張及び縮小しながら振動する第3駆動手段及び第4駆動手段と、を含み、前記第1駆動手段と前記第2駆動手段が互いに反対に膨張及び縮小しながら振動した後、互いに同一に膨張及び縮小しながら振動するように、前記第1駆動手段と前記第2駆動手段の振動周波数が相違することを特徴とする慣性センサ。

IPC (6件)：

G01C 19/56 , H01L 41/08 , H01L 41/22 , H01L 41/18 , H01L 41/187 , B81B 3/00

FI (7件)：

G01C19/56 100 , H01L41/08 Z , H01L41/22 Z , H01L41/18 101Z , H01L41/18 101D , H01L41/18 101B , B81B3/00

Fターム (16件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA05 , 2F105AA10 , 2F105BB03 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13 , 3C081AA13 , 3C081BA45 , 3C081BA48 , 3C081BA55 , 3C081EA02

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