ウエハステージの洗浄装置およびウエハステージの洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038673
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175563
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：

【課題】ウエハステージの上面の溝の目詰まりを防止する。【解決手段】本実施形態のウエハステージの洗浄装置は、ウエハステージの上面に接触して研磨するクリーニングストーンを有する研磨機構と、前記ウエハステージの上面にドライアイスを吹き付けるドライアイス吹き付け機構とを備え、前記ウエハステージの上面にドライアイスを吹き付けながら、前記ウエハステージの上面を前記クリーニングストーンにより研磨可能なように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエハステージの上面に接触して研磨するクリーニングストーンを有する研磨機構と、前記ウエハステージの上面にドライアイスを吹き付けるドライアイス吹き付け機構と、前記ウエハステージの上面上の空気及び洗浄により除去された異物を吸引する吸引機構とを備え、前記研磨機構は、前記クリーニングストーンを収容するカップ状の内ケースを備え、前記ドライアイス吹き付け機構は、前記内ケースの底部に形成された第1の貫通孔と、前記クリーニングストーンに形成され前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔とを備え、前記ドライアイスを前記第1の貫通孔及び前記第2の貫通孔を通して吹き出すように構成され、前記第2の貫通孔内には、前記ドライアイスを粉砕するディフューザーが配設され、前記吸引機構は、前記内ケースを覆うように設けられたカップ状の外ケースを備え、前記外ケースと前記内ケースとの間にもうけられた吸引流路を通して吸引するように構成され、そして、前記クリーニングストーンまたは前記内ケースに配設され、前記ウエハステージの上面を加熱する加熱手段を備えたことを特徴とするウエハステージの洗浄装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01L 21/677 , B08B 5/02 , B08B 1/00

FI (7件)：

H01L21/30 503G , G03F7/20 501 , H01L21/68 A , B08B5/02 Z , B08B1/00 , H01L21/30 503C , H01L21/30 515G

Fターム (30件)：

2H097BA04 , 2H097DA20 , 2H097GB01 , 2H097GB02 , 2H097GB03 , 3B116AA47 , 3B116AB53 , 3B116BA03 , 3B116BA06 , 3B116BA23 , 3B116BB22 , 3B116BB62 , 3B116BB72 , 3B116BB82 , 3B116BB88 , 3B116CA01 , 3B116CD11 , 5F031CA20 , 5F031GA01 , 5F031HA01 , 5F031HA05 , 5F031MA27 , 5F031PA24 , 5F146BA04 , 5F146BA05 , 5F146CC08 , 5F146CC09 , 5F146CC10 , 5F146CC11 , 5F146CC20

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