特許
J-GLOBAL ID：201303025311481259

露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者：
白戸 章仁

白戸 章仁 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-085425
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214025
出願日： 2012年04月04日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】複数のレーザ干渉計を切り換えて使用して基板ステージの位置を計測する。【解決手段】 制御装置は、走査露光中にはレーザ干渉計21YAにより、加減速及びステップ移動中にはレーザ干渉計21YB1,21YB2により、基板ステージPSTのY軸方向の位置を計測する。そして、制御装置は、レーザ干渉計21YA及びレーザ干渉計21YB1,21YB2間で使用するレーザ干渉計を切り換える際に、エンコーダシステムの計測結果を基準にして、レーザ干渉計21YA,21YB1,21YB2の計測結果をリセットする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
エネルギビームに対して所定面に沿って走査方向に基板を移動させつつ露光して前記基板上にパターンを形成する露光方法であって、 基板を保持して移動する移動体に対向して前記走査方向に離間して配置され、前記移動体上の移動鏡に光を照射し、該光の前記移動鏡からの反射光を受光して、前記所定面内で前記走査方向に垂直な非走査方向に関する前記移動体の位置を計測する複数の干渉計のうち、前記移動体が前記走査方向に等速移動する際には、第1干渉計により、前記移動体が前記走査方向に加減速移動する際には、第2干渉計により、それぞれ前記移動体の前記非走査方向の位置を計測することと、 前記第1、第2干渉計の切り換えに際して、前記移動体と該移動体の外部との一方に配置された少なくとも1つのヘッドを用いて前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられたグレーティングに光を照射し、前記グレーティングからの光を受光して前記移動体の位置を計測し、該計測結果を基準にして前記第1及び第2干渉計間で計測結果をリセットすることと、 を含む露光方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  G01B 11/00
FI (5件)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516B ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/68 K ,  G01B11/00 G
Fターム (47件)：
2F065AA03 ,  2F065CC00 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065FF16 ,  2F065FF48 ,  2F065FF55 ,  2F065LL12 ,  2F065LL42 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065UU06 ,  2H097GB03 ,  2H097LA11 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131CA22 ,  5F131DA02 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DD33 ,  5F131DD76 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131KA02 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F146BA05 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC13 ,  5F146CC16 ,  5F146CC18 ,  5F146CC20 ,  5F146DA07 ,  5F146DB05 ,  5F146DC12
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM