超音波厚みセンサの製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：森隆一郎 , 志賀正武 , 高橋詔男 , 山崎哲男 , 松沼泰史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002441
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143648
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：

【課題】超音波厚みセンサとして薄質で可撓性を示して、測定対象表面が湾曲している場合でもそれに追従させることができ、しかも測定対象個所に常時貼着させておくことを可能として、厚み測定前後の種々の作業を不要とし、厚み測定の手間と時間を大幅に削減し、かつ多数の箇所の同時的な厚み測定や、連続的な厚み測定も可能とした超音波厚み測定センサを製造することができる方法を提供する。【解決手段】セラミック圧電体の原料となる酸化物系圧電材料の粉末を、平均粒径0.15〜0.25μmの範囲内の超微粉末に調製し、その超微粉末のスラリーを、一方の電極となるべき薄質な金属板の表面に塗布し、加熱、焼成して、比較的ポーラスで可撓性を示し得る薄質な焼結体層を前記金属薄板表面に形成し、その後、他方の電極の取り付け及び分極処理を行って、センサ全体として可撓性を示し得るようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物系圧電材料からなる原料粉末を、平均粒径0.15〜0.25μmの範囲内の超微粉末に調製する超微粉末調製工程と、前記超微粉末を分散媒とともに混錬して、超微粉末ペーストとするペースト化工程と、前記超微粉末ペーストを金属薄板からなる第1の電極の一方の板面上に塗布して、そのペースト層を乾燥させ、第1の電極の一方の板面上に超微粉末層を形成する超微粉末層形成工程と、前記超微粉末層を加熱して焼成し、圧電材料焼結体層を第1の電極の一方の板面上に形成する焼成工程と、前記焼成工程終了後、前記圧電材料焼結体層における前記第1の電極に対し反対側の表面に第2の電極を形成する第2電極形成工程と、前記第1の電極と第2の電極との間に電位差を与えて分極処理する分極処理工程と、を有してなることを特徴とする超音波厚みセンサの製造方法。

IPC (7件)：

H04R 31/00 , G01B 17/02 , H01L 41/22 , H01L 41/187 , H01L 41/08 , H01L 41/39 , H01L 41/257

FI (8件)：

H04R31/00 330 , G01B17/02 Z , H01L41/22 Z , H01L41/18 101D , H01L41/08 Z , H01L41/22 A , H01L41/18 101B , H01L41/22 B

Fターム (12件)：

2F068AA28 , 2F068BB09 , 2F068CC16 , 2F068DD13 , 2F068KK13 , 2F068LL13 , 2F068LL29 , 2F068LL30 , 5D019AA26 , 5D019BB02 , 5D019FF03 , 5D019HH01

引用特許：

審査官引用 (1件)

自動車
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-103718 出願人：八木勝利

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