特許

J-GLOBAL ID：201303025489090946

スプレーコータ

発明者： 寺田 常徳 ,  佐野 孝史
出願人/特許権者： 株式会社LEAP
代理人 (1件)： 萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097751
公開番号（公開出願番号）：特開2013-223845
出願日： 2012年04月23日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】大型基板に、任意の膜厚の平坦な塗布膜、又は多層膜を形成するスプレーコータを提供する。【解決手段】直交する2方向へ往復移動するスライダ40に塗布液を噴射するスプレーノズルを具備する部10とヒータとして機能するランプ35を具備するランプ部35とを搭載し、基板ホルダ20に固定保持された基板60を、表面がスプレーノズルに対して下向きとなるよう対向配置し、スプレーノズルにより塗布液を噴射して基板60の表面に塗布液を塗布した後に、ランプ35により加熱して乾燥させ厚膜を形成するスプレーコータ100において、スプレーノズルからの噴射による塗布液の塗布がスプレーエリア単位で順次行なわれ、塗布が行なわれたスプレーエリアに対し塗布後直ちにランプ35による乾燥が行なわれるようスプレーノズル部10とランプ部30とを並置してスライダ40に塔載する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直交する2方向へ往復移動するスライダに塗布液を噴射するスプレーノズルとヒータとを搭載し、基板ホルダに固定保持された基板を前記基板の表面が前記スプレーノズルに対して下向きとなるよう対向配置し、前記スプレーノズルにより前記塗布液を噴射して前記基板の表面に前記塗布液を塗布した後に、前記ヒータにより加熱して乾燥させ厚膜を形成するスプレーコータにおいて、 前記スプレーノズルからの噴射による前記塗布液の塗布がスプレーエリア単位で順次行なわれ、塗布が行なわれた前記スプレーエリアに対し塗布後直ちに前記ヒータによる乾燥が行なわれるよう前記スプレーノズルと前記ヒータとを並置して前記スライダに塔載することを特徴とするスプレーコータ。

IPC (3件)：

B05C 9/14 ,  B05B 13/04 ,  B05B 15/04

FI (3件)：

B05C9/14 ,  B05B13/04 ,  B05B15/04 103

Fターム (7件)：

4D073AA01 ,  4D073BB03 ,  4D073CC07 ,  4F035AA03 ,  4F035CD05 ,  4F042CC04 ,  4F042DB17