露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076259
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205709
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】露光に必要な移動機構を利用して、洗浄機構をマスクに対して相対的に移動可能な構成とすることで、簡易な構成(工程)でマスクの洗浄を可能とする。【解決手段】本発明の露光装置は、基板を支持するチャック10と、マスク2を保持するマスクホルダ20とを備え、マスク2と基板との間にギャップを設けて、マスク2のパターンを基板へ転写する露光装置である。この露光装置は、チャック10をX方向およびY方向へ移動させる移動機構(Xガイド4、Yガイド6)と、チャック10に連結されたマスク洗浄機構100と、を有する。上記移動機構(Xガイド4、Yガイド6)によりマスク洗浄機構をチャック10とともにマスク2に対して相対的に移動させることによりマスク2を洗浄する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板を支持する支持部と、マスクを保持するマスク保持機構とを備え、前記マスクと前記基板との間にギャップを設けて、前記マスクのパターンを前記基板へ転写する露光装置であって、前記支持部を第1方向および前記第1方向と交差する第2方向へ移動させる支持部移動機構と、前記支持部に連結されたマスク洗浄機構と、を有し、前記支持部移動機構により前記マスク洗浄機構を前記支持部とともに前記マスクに対して相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 , H01L 21/027 , H01L 21/683 , H01L 21/677

FI (6件)：

G03F7/20 501 , H01L21/30 509 , H01L21/30 503G , H01L21/30 514E , H01L21/68 N , H01L21/68 A

Fターム (26件)：

2H097BA04 , 2H097BA06 , 2H097GA45 , 2H097LA11 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BA13 , 5F131CA12 , 5F131CA32 , 5F131CA38 , 5F131CA70 , 5F131DA02 , 5F131DA09 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB52 , 5F131DB76 , 5F131EA02 , 5F131EA22 , 5F131EB01 , 5F131EB72 , 5F146AA04 , 5F146AA18 , 5F146BA02 , 5F146DC04

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