特許

J-GLOBAL ID：201303025934814054

レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： 杉原 昌子 ,  安藤 信雄 ,  山下 裕子
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207889
公開番号（公開出願番号）：特開2013-083957
出願日： 2012年09月21日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：

【課題】優れたラインエッジラフネスのレジストパターンを製造し得るレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される化合物、樹脂及び酸発生剤を含有し、樹脂が、式(a1-0)で表される構造単位を含み、かつ、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂であるレジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される化合物、樹脂及び酸発生剤を含有し、 樹脂が、式(a1-0)で表される構造単位を含み、かつ、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂であるレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/18

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/18

Fターム (42件)：

2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AH17 ,  2H125AJ13Y ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ59Y ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ69Y ,  2H125AN02P ,  2H125AN11P ,  2H125AN21P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN50P ,  2H125AN54P ,  2H125AN67P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03P ,  4J100BA03S ,  4J100BA11T ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53T ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38