特許
J-GLOBAL ID：201303026422466980
サファイア単結晶およびサファイア単結晶の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古部 次郎
, 千田 武
, 加藤 謹矢
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-007094
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147361
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】酸化アルミニウムの融液からサファイア単結晶を結晶成長させる際に、サファイアインゴットの胴部の結晶性の劣化や胴部への気泡の混入をより抑制する。【解決手段】サファイア単結晶の製造方法は、加熱炉内のるつぼ内に充填された固体の酸化アルミニウムを加熱によって溶融する溶融工程と、酸化アルミニウムの融液すなわちアルミナ融液に種結晶の下端部を接触させる種付工程と、種結晶の下端部をアルミナ融液に接触させた状態で、種結晶を停止または回転させながら上方に引き上げることにより、種結晶の下方に肩部を形成するとともに、アルミナ融液に浮遊する気泡を肩部に取り込む気泡取込工程を含む肩部形成工程と、アルミナ融液に肩部の下端部を接触させた状態で、種結晶を介して肩部を回転させながら上方に引き上げることにより、肩部の下方に胴部を形成する胴部形成工程とを含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
肩部と胴部と尾部とを有するサファイア単結晶の製造方法であって、
るつぼの酸化アルミニウムを溶融させて酸化アルミニウムの融液を得る溶融工程と、
前記るつぼ中の酸化アルミニウムの前記融液に、引き上げ棒の一端部に設けたサファイア単結晶の種結晶を、当該引き上げ棒を軸の周りに第1の回転数R1で回転させながら付着させる種付工程と、
前記胴部の形成に際して用いられる第2の回転数R2まで前記引き上げ棒の回転を増しつつ前記種結晶を引き上げることにより結晶成長界面を前記融液に対し凹状にすることで気泡を取り込む気泡取込工程を含むとともに、当該種結晶の下方に向かって広がった前記肩部を形成する肩部形成工程と、
前記融液に付着させた前記肩部を、前記引き上げ棒を前記第2の回転数R2で回転させつつ引き上げることにより前記結晶成長界面を前記融液に対し凸状にすることで気泡を取り込みにくくして、当該肩部の下方に前記胴部を形成する胴部形成工程と、
前記肩部および当該肩部に連結して形成された前記胴部を、前記融液から引き上げることにより、当該胴部の下方に前記尾部を形成する尾部形成工程とを含む
ことを特徴とするサファイア単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
4G077AA02
, 4G077AB01
, 4G077AB02
, 4G077AB09
, 4G077BB01
, 4G077CF10
, 4G077EB06
, 4G077ED02
, 4G077EH08
, 4G077EH09
, 4G077HA01
, 4G077HA02
, 4G077HA12
, 4G077PA16
, 4G077PF08
, 4G077PF15
, 4G077PF17
, 4G077PJ02
