特許
J-GLOBAL ID：201303026429605579
回路基板検査装置および回路基板検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-003258
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142621
出願日： 2012年01月11日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】検査精度を向上させる。【解決手段】複数のプローブピン(22a,22b)を有するプローブユニット12と、回路基板100の各検査ポイントPの間の静電容量を測定する測定部と、測定された静電容量に基づいて回路基板100を検査する検査部とを備え、測定部は、静電容量の測定対象とする各第1検査ポイント(Pa1,Pa2)に接触させるべき各プローブピンの間の浮遊容量をプロービング処理が実行されていない状態で測定する第1測定処理と、各第1検査ポイントPと各プローブピンとの間に絶縁シート13が介在しないでかつ静電容量の測定対象としない第2検査ポイントPbとプローブピンとの間に絶縁シート13が介在する状態でプロービング処理が実行されたときの静電容量を測定する第2測定処理とを実行し、検査部は、浮遊容量を静電容量から差し引いた後の静電容量に基づいて回路基板100を検査する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数のプローブピンを有するプローブユニットと、検査対象の回路基板に向けて前記プローブユニットを移動させるプロービング処理を実行する移動機構と、前記回路基板に設けられている複数の検査ポイントに前記プロービング処理によって前記各プローブピンが接触させられている状態において当該各検査ポイントの間の静電容量を測定する測定部と、当該測定部によって測定された前記静電容量に基づいて前記回路基板を検査する検査部とを備えた回路基板検査装置であって、
前記測定部は、前記各検査ポイントのうちの前記静電容量の測定対象とする各第1検査ポイントに接触させるべき前記各プローブピンの間の浮遊容量を前記プロービング処理が実行されていない状態で測定する第1測定処理と、前記各検査ポイントのうちの前記各第1検査ポイントと前記各プローブピンとの間に絶縁性を有するシート体が介在しないでかつ前記各検査ポイントのうちの前記静電容量の測定対象としない第2検査ポイントと前記プローブピンとの間に前記シート体が介在する状態で前記プロービング処理が実行されたときの前記静電容量を測定する第2測定処理とを実行し、
前記検査部は、前記第1測定処理によって測定された前記浮遊容量を前記第2測定処理によって測定された前記静電容量から差し引いた後の静電容量に基づいて前記回路基板を検査する回路基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC10
