特許
J-GLOBAL ID:201303026599197360
マスク組立体および有機発光表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
松永 宣行
, 辻 徹二
, 三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-045437
公開番号(公開出願番号):特開2013-112896
出願日: 2012年03月01日
公開日(公表日): 2013年06月10日
要約:
【課題】本発明は、蒸着品質を高めることができるマスク組立体およびそれを用いて製造された有機発光表示装置を提供する。【解決手段】本発明によるマスク組立体は、開口部を形成するフレームと、複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向に沿って引張力が加わった状態で両側端部がフレームに固定される複数の単位マスクとを含む。複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成する。単位マスクの幅方向に沿った蒸着用凹部の幅は、単位マスクの幅方向に沿った蒸着用開口部の幅と同一であるか、またはそれよりも大きい。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
開口部を形成するフレーム、および
複数の蒸着用開口部を形成し、長さ方向の両側端部が前記フレームに固定される複数の単位マスクを含み、
前記複数の単位マスクのうちの隣接した少なくとも二つの単位マスクは、互いに向き合う両側面に蒸着用凹部を形成し、
前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用凹部の幅は、前記単位マスクの幅方向に沿った前記蒸着用開口部の幅以上である、マスク組立体。
IPC (3件):
C23C 14/24
, H01L 51/50
, H05B 33/10
FI (3件):
C23C14/24 G
, H05B33/14 A
, H05B33/10
Fターム (16件):
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC31
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB10
, 4K029DB18
, 4K029HA03
引用特許:
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