特許
J-GLOBAL ID：201303026700806291
露光装置、照明条件計測方法およびデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108910
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236025
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：
【課題】照明状態の精密な調整に有利な技術を提供する。【解決手段】露光装置は、原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、計測部と、制御部とを備えている。前記照明光学系は、照明状態を調整するための光学ユニットと、前記光学ユニットを駆動する駆動部とを含む。前記計測部は、前記照明状態を計測し、前記制御部は、前記駆動部を制御する。前記制御部は、前記駆動部が前記光学ユニットを駆動したことによる前記計測部によって計測される前記照明状態の変化に基づいて、前記駆動部による前記光学ユニットの駆動量と前記照明状態の変化との関係を求める。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置であって、
前記照明光学系は、照明状態を調整するための光学ユニットと、前記光学ユニットを駆動する駆動部とを含み、
前記露光装置は、前記照明状態を計測する計測部と、前記駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記駆動部が前記光学ユニットを駆動したことによる前記計測部によって計測される前記照明状態の変化に基づいて、前記駆動部による前記光学ユニットの駆動量と前記照明状態の変化との関係を求める、
ことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516C
, H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
5F146BA03
, 5F146CA04
, 5F146CB12
, 5F146DA01
, 5F146DB01
, 5F146DC12
