特許

J-GLOBAL ID：201303026804076414

光学式変位計

発明者： 大川 陽平
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-033117
公開番号（公開出願番号）：特開2013-170842
出願日： 2012年02月17日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：

【課題】測定対象物の状態が変化することにより変化する測定対象物の外郭形状および内郭形状のうち少なくとも一方の形状について解析を行うことが可能な光学式変位計を提供する。【解決手段】投光部からワークに向かうZ方向に沿ってX方向に広がる帯状の光が照射される。ワークからの反射光を受光することにより出力される受光信号に基づいて、ワークの照射領域の形状を示すプロファイルデータが繰り返し生成される。生成された複数のプロファイルデータPRについてX方向の複数の位置での変位の最大の値を結ぶことにより得られる最大プロファイルデータが合成プロファイルデータとして生成される。また、X方向の複数の位置での変位の最小の値を結ぶことにより得られる最小プロファイルデータPR2が合成プロファイルデータCPRとして生成される。合成プロファイルデータCPRに基づく合成プロファイル形状が表示部の画面上に表示される。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

測定対象物に第1の方向に広がる帯状光または前記第1の方向に走査される光を照射する投光部と、 測定対象物からの反射光を受光し、受光量を示す受光信号を出力する受光部と、 前記受光部により出力される受光信号に基づいて、前記投光部から測定対象物に向かう第2の方向における測定対象物の変位の値を前記第1の方向に沿った複数の位置で表すプロファイルデータを繰り返し生成するように構成される生成部と、 前記生成部により生成される複数のプロファイルデータについて前記第1の方向の複数の位置での最大の値を結ぶことにより得られる最大プロファイルデータおよび前記第1の方向の複数の位置での最小の値を結ぶことにより得られる最小プロファイルデータのうち少なくとも一方を合成プロファイルデータとして生成するように構成される処理部と、 前記処理部により生成された合成プロファイルデータを合成プロファイル形状として表示可能に構成された表示部とを備える、光学式変位計。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (28件)：

2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA31 ,  2F065AA53 ,  2F065AA58 ,  2F065BB05 ,  2F065BB16 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM11 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13