質量分析装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (4件)：波多野久 , 関口俊三 , 猿渡章雄 , 河村修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-151647
公開番号（公開出願番号）：特開2013-020748
出願日： 2011年07月08日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：

【課題】S/N比と迅速性の向上を図った質量分析装置を提供する。【解決手段】パルス幅がピコ秒またはフェムト秒の紫外線領域の超短パルスレーザ光を出力する超短パルスレーザ装置8と、真空排気された真空容器2と、この真空容器内に配設されて、前記超短パルスレーザ光を複数回往復可能に反射させるように複数の凹面鏡をそれぞれ設けた一対の多面鏡を対向配置し、これら多面鏡の焦点に、前記超短パルスレーザ光を複数回通す多面鏡システム4と、多面鏡システムの焦点に向けてサンプルを含有した高温のサンプルガスを間欠的に噴射する高温パルスバルブ3と、多面鏡システムによりイオン化されたサンプルの質量を測定する飛行時間型質量分析器7と、真空容器内でイオン化されたイオンを質量分析器に導入させる電場を形成する電極5a,5bと、を具備している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パルス幅がピコ秒またはフェムト秒の紫外線領域の超短パルスレーザ光を出力する超短パルスレーザ装置と、真空排気された真空容器と、この真空容器内に配設されて、前記超短パルスレーザ光を複数回往復可能に反射させるように複数の凹面鏡をそれぞれ設けた一対の多面鏡を対向配置し、これら多面鏡の焦点に、前記超短パルスレーザ光を複数回通す多面鏡システムと、前記多面鏡システムの焦点に向けてサンプルを含有した高温のサンプルガスを間欠的に噴射するサンプル噴射弁と、前記多面鏡システムによりイオン化されたサンプルの質量を測定する質量分析器と、前記真空容器内でイオン化されたイオンを前記質量分析器に導入させる電場を形成する電極と、を具備していることを特徴とする質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/10 , H01J 49/40 , H01J 49/06 , G01N 27/62

FI (5件)：

H01J49/10 , H01J49/40 , H01J49/06 , G01N27/62 G , G01N27/62 K

Fターム (9件)：

2G041CA01 , 2G041DA03 , 2G041EA05 , 2G041GA06 , 5C038FF07 , 5C038GG07 , 5C038GH04 , 5C038GH09 , 5C038GH10

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