ファラデーローテータ、光アイソレータ、レーザ装置、および極端紫外光生成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：特許業務法人エビス国際特許事務所 , 伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-000204
公開番号（公開出願番号）：特開2013-218286
出願日： 2013年01月04日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

【課題】高パルスエネルギーのレーザ光に対する耐性を向上する。【解決手段】ファラデーローテータは、所定領域に所定磁束密度の磁場を形成するように構成された磁場形成部と、前記所定領域に配置されたファラデー素子と、前記ファラデー素子の一方の主平面側に配置され、前記ファラデー素子との間でオプティカルコンタクト面を形成し、所定波長の光を透過する第1排熱部材と、を備えてもよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定領域に所定磁束密度の磁場を形成するように構成された磁場形成部と、前記所定領域に配置されたファラデー素子と、前記ファラデー素子の一方の主平面側に配置され、前記ファラデー素子との間でオプティカルコンタクト面を形成し、所定波長の光を透過する第1排熱部材と、を備えるファラデーローテータ。

IPC (4件)：

G02B 27/28 , H01S 3/23 , H01S 3/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B27/28 A , H01S3/23 , H01S3/00 A , H01L21/30 531S

Fターム (16件)：

2H199AA02 , 2H199AA04 , 2H199AA06 , 2H199AA14 , 2H199AA23 , 2H199AA53 , 2H199AA72 , 2H199AA93 , 5F146GC12 , 5F172AD05 , 5F172DD03 , 5F172EE22 , 5F172NR13 , 5F172NS01 , 5F172NS23 , 5F172ZZ14

引用特許：

審査官引用 (12件)

光学部品及びこの光学部品を備える光アイソレータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-377477 出願人：並木精密宝石株式会社
光アイソレータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-306767 出願人：京セラ株式会社
特開平3-116114

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